中微公司：公司 12 英寸高端刻蚀设备已应用于 5nm 芯片生产线

　　IT之家4月6日消息据《科创板日报》报道，中微公司董事长、总经理尹志尧今日表示，公司的等离子体刻蚀设备已应用在国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米及其他先进的集成电路加工制造生产线和先进封装生产线。

　　其中，公司开发的12英寸高端刻蚀设备已运用在国际知名客户最先进的生产线上并用于5纳米、5纳米以下器件中若干关键步骤的加工。

　　中微公司2月披露的2020年业绩快报显示，中微公司2020年刻蚀设备收入为12.89亿元，同比增长约58.49%；由于市场原因，中微公司2020年MOCVD设备收入为4.96亿元，同比下降约34.47%。